「21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック」販売店・購入・ショップ情報。権田 俊一エヌティーエス

すいません、買わずに図書館で借りて必要なところだけ読んでいます。

さて、高額の大型ハンドブックですのでなかなか購入には至らないかもしれませんが、膜屋さんなら一度はどこかでお手に取ることをお勧めします。きっとあなたのプロセスに関連ある内容も含まれているでしょう。
とりあえず第1章第1節｢薄膜とは」は少ない紙数でこの分野を概観しまとめてあり、薄膜分野に最近来られた方にもお勧めです。